【资料图】
其产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线 ... 2016 年至 2020 年，全球和中国大陆地区半导体设备和检测与量测设备市场处于快速发展期，中国大陆地区半导体设备市场和检测与量测市场增长显著高于全球市场增长 ... 在我国半导体量测检测设备国产化率相对较低的情况下，中科飞测作为国内半导体设备行业领军企业之一，在中国大陆半导体检测和量测设备市场具有相对竞争优势。
关键词：